美国布鲁克DEKTAK XT适用于纳米尺度的表面美国布鲁克DEKTAK XT适用于纳米尺度的表面轮廓测量、薄膜厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量，应用于微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域。

扫描长度范围：55mm（2英寸）

每次扫描数据点：最多可达120000数据点

最大样品厚度：50mm(2英寸）

最大晶圆尺寸：200mm(8英寸），应用于微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域。

扫描长度范围：55mm（2英寸）

每次扫描数据点：最多可达120000数据点

最大样品厚度：50mm(2英寸）

最大晶圆尺寸：200mm(8英寸）